
Минимальный набор испытаний при плановой реквалификации чистых помещений классов чистоты A, B, C, D.
1. Концентрация частиц в воздухе чистого помещения.
2. Целостность финишных фильтров в чистом помещении.
3. Кратность воздухообмена в чистом помещении.
4. Избыточные перепады давления между чистыми помещениями.
5. Скорость воздуха в чистой зоне.